服务单位：某科技有限公司

服务仪器型号：icpms7900

仪器故障描述:氩气打开有压力，流量打开无流量,机械泵漏油

维修过程和结果:

1 打开雾化室维护界面，打开氩气罐压力显示压力正常，开启等离子气 辅助气 雾化气 补偿气 无流量显示

2 关机，临时替代机械泵拉回维修，更换氩气控制阀

3 开机点火正常，氩气压力与流量均显示正常

维修前照片：

维修后照片：