仪器型号：PE NexION 350X

故障描述：机械泵烧坏

维修过程：

1、更换好的机械泵，备份仪器电脑系统与数据；

2、升级工作站1.版本到2.4版本，检查适配固件进行更新；

3、开机抽真空机械泵启动正常，分子泵与机械泵转速反馈正常

4、仪器真空压力状态有故障

维修前图片：

维修后图片：